دوبروی مبنی بر خاصیت موجی الکترون   1923<br><br> 1932  Knoll & Ruska *ساخت اولین میکروسکوپ الکترونی توسط <br><br>1938  Von Ardenne توسط SEM*ساخت اولین  <br><br>1965   Cambridge تجاری توسط SEM *ساخت نخستین <br><br>مقایسه میکروسکوپ های الکترونی با میکروسکوپ اپتیکی<br><br>*در ميكروسكوپ نوري شايد بتوان با تغيير انحناي (تقعر و تحدب) سطح عدسي‌ها و تعداد آنها بزگنمائي تصاوير را به هر مقدار زياد كرد اما به علت بلند بودن طول موج نور عملاً تصاوير در بزرگنمائي‌هاي بالاي 2000 وضوح خود را از دست<br>*در ميكروسكوپ الكتروني به جاي نور از شعاع الكتروني استفاده مي‌شود. چون طول موج الكترون بسيار كوتاه است ميتوان در ميكروسكوپهاي الكتروني بزرگنمائي تصاوير را بسيار بالا برد (تا حد يك ميليون برابر در بعضي از ميكروسكوپهاي الكتروني و يا بيشتر)<br>*الكترون بر خلاف نور نميتواند به آساني در هوا حركت كند، در نتيجه بايد در مسير حركت الكترون و محفظه نمونه خلأ بسيار قوي ايجاد كرد<br>Electron   (E=10Kev )             λ≈0.4 nm<br><br>Visible light      400 nm < λ < 700 nm <br><br>SEMبخش های مهم <br><br>تفنگ الکترونی<br>عدسی ها<br>....